电子工业用水的高度提纯
供给半导体电子工业用的高纯水，以往主要是采用化学凝聚、过滤、离子交换树脂等制备方法。其最大缺点是流程复杂，再生离子交换树脂的酸碱用量大，成本高。
反渗透在制取超纯水中的应用
国内多数是采用电渗析-离子交换法制取。由于该法难以去除胶体和中性粒子，因而不能满足近代大规模集成电路用水要求。国家海洋局第二海洋研究所采用电渗析-反渗透-离子交换工艺制取超纯水，还有很多是利用
纯水超纯水系统制备，通过长期运行，使用效果良好。水质达到15-17兆欧.厘米。
试验表明:反渗透技术对其它水处理技术难以去除的二氧化硅、有机物、胶体、微生物具有较好的脱除能力。它使超纯水水质由7-10兆欧·厘米，提高到15-17兆欧·厘米。同时，还使离子交换树脂的寿命延长，再生次数减少，终端的精密滤器有机物、胶悬休及微粒等甚多，做为终端混床后级处理的微孔滤膜，对水中大于滤膜孔径的微粒有很好的去除效果，但其通量小，使用寿命短，更换频繁，成本高，且对小于滤膜孔径的微粒不能有效滤除，使产品质量进一步提高有困难。
反渗透法做为既能脱盐又可去除有机物、微粒、胶体物等的综合手段，有其优越性。然而，迄今国内反渗透产品尚未受到普遍重视，许多微电子产品厂一般对现有的以电渗析作初脱盐的制水流程有较成熟的经验，多数厂家希望用超过滤与现有的制水流程结合起来制取合格的
超纯水。
为使超滤在以电渗析为初脱盐的制水系统中应用，有些单位选用截留分子量为初50,000的L F-50型组件(规格见表11-22)装在一级混床后级，利用一级混床的出水压力超滤(不另设泵)进行了试验。试验过程中，膜组件每天快速冲洗一次，反向冲洗一次，每月化学清洗一次(视进水水质而定，若以地下水为原水可基本不清洗)。
