质谱仪
质谱仪是一种根据粒子质量差异进行分析的仪器，不同元素或同位素的原子质量是不同的，故可以将原子化合物分子质量作为区分各种元素或同位素化合物的特征，质谱仪首先使元素电离成正离子，然后在电场扫描作用下，荷质比大的离子以较快速度率先沿电场方向运动，这样，可使不同荷质比的离子按顺序的达到富元素，分辨能力强，灵敏度高，速度快，效率高。故应用很广，主要用于材料的超纯分析。
离子探针
离子探针的结构与电子探针相似，是离子显微镜和质谱仪想结合的装置，它用聚焦离子轰击试样，使之产生反映试样特征的离子束，由
质谱仪检测得出分析结果，离子探针具有质谱仪的优点又兼具探针微区分析的性质，他对样品从表面开始逐层剥离探测，对样品有破坏性，但可了解固体表面以内不同深度的状态及组成情况，是膜分析和微区分析中具有前途的分析工具之一。
