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SHIMADZU岛津X射线光电子能谱仪AXIS ULTRA DLD

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品牌:SHIMADZU岛津
型号:AXIS ULTRA DLD

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SHIMADZU岛津X射线光电子能谱仪 AXIS ULTRA DLD 

 

AXIS ULTRA DLD是实时成像XPS的巅峰产品 -空间分辨率小于3μm

 

· 可集成多种分析技术

AXIS ULTRA DLD标准配备了具有多个国际标准窗口的样品处理室,作为样品的前处理腔,功能强大且扩展性强。能够对应样品加热制冷及具有反应功能的样品反应池,多样品停放器等许多选购件。样品分析室可以增加UPSFE-AESISS等分析方法,可以组合成复合分析装置。

· 延迟线探测器(DLD)系统

采用了最新研发的延迟线探测器。既可以生成谱图又可以生成图像。各测定模式均可以提供正确的脉冲计数。不仅可以在描谱仪模式下,通过128个检测通道提供高灵敏度的测定,还可以不通过分析器的能量扫描,利用快速非扫描的“快照”谱仪模式瞬间测定窄扫描谱。成像模式能够提供256×256像素、空间分辨率小于3μm的高分辨率图像。

· 平行成像和微区谱图

采用平均半径达165mm的大型静电半球分析器与成像专用的球镜分析器(Kratos专利)组合的合成分析器。在进行化学状态分析、深度方向分析等的谱仪分析时,通过大型静电半球分析器能够提供高能量分辨率、高灵敏度的测定。多点微区测定时利用输入透镜内的光电子偏转系统,能够实现准确的点分析。 利用球镜分析器进行平行成像。光电子成像的空间分辨率小于3μm,能够在谱仪测定的同时,极短时间内得到高分辨率图像。